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洁净室复合气流特性概况

洁净室复合气流特性概况 

复合类型是将湍流和层流合并或合并,可提供局部超净空气。 


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(1)清洁隧道:使用HEPA或ULPA过滤器对过程区域或工作区域进行100%的覆盖,可将清洁度提高到10以上,从而可以节省安装和运营成本。 这种类型需要将操作员的工作区域与产品和机器维护隔离开,以避免在机器维护期间影响工作和质量。此类型主要用于ULSI流程中。 清洁的隧道还有另外两个优点:A.灵活的扩展很容易; B.设备的维护可以在维护区域轻松进行。 

(2)清洁管:封闭并净化产品加工过程所通过的自动生产线,并将清洁度提高到100以上。由于产品与操作员和粉尘产生环境隔离,因此少量空气可以获得良好的清洁度,可以节省能源,最不需要人工的自动化生产线。适用于制药,食品和半导体行业。 

(3)组合式局部洁净室(Clean Spot):将湍流洁净室中产品加工区的洁净度水平从10,000到100,000提高到10到1,000或更高;干净的工作台,干净的工作棚和干净的风柜属于此类。 无尘工作台:1?100级。 洁净棚:为了用防静电透明塑料布在动荡的洁净室空间内围成一小块空间,请使用独立的HEPA或ULPA和空调鼓风机单元作为更高级别的洁净空间,等级为10? 1000,高度约为2.5米,占地面积小于10m2,可使用四个支柱和附加的可移动轮以提高灵活性。

昆山昌瑞空调净化技术有限企业 ,专注从事空气过滤器系列产品(初/中/高效、化学过滤器等)、 洁净室净化设备(抛弃式/可更换式/自动卷绕式过滤器、高效送风口、FFU高效过滤器净化机组)的研发、生产、销售和售后。

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